Ders Adı:İnce Film Teknolojileri
Ders Kodu:ESML 5116
Ders İçeriği (Türkçe):İnce film fiziğinin temelleri; ince filmlerin hazırlanması: buharlaştırma, saçılma, kimyasal buharda büyütme, elektrokimyasal depolama; İnce filmlerin büyütülmesi, buharlaştırma oranları ve film kalınlıklarının ölçülmesi; ince filmlerin kimyasal analizleri, ince filmlerin mekaniksel, elektriksel ve optik özellikleri; mühendislik uygulamaları
Ders İçeriği (İngilizce):Fundamentals of thin film physics; preparation of thin films: evaporation, sputtering, ion plating, CVD, electrochemical deposition; nucleation and growth of thin films, evaporation rate measurements, film thickness measurements; chemical analysis of thin films; mechanical electrical and optical properties; engineering applications
Ders Saati:
Teorik Ders : 3 Uygulama : 0 Laboratuar : 0
Ders Kredisi : 3